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真空爐泄漏檢查的典型程序
2024-08-15
真空爐泄漏檢查的典型程序
查找真空爐泄漏的典型程序：
在開始任何測試之前，請確保氦氣泄漏檢測器已校準(zhǔn)(用校準(zhǔn)泄漏器檢查)并正常工作。通過將少量流量噴入機柜，確保泄漏檢測器本身沒有泄漏。此外，檢查泄漏檢測器與爐子之間的連接點是否泄漏。
將泄漏檢測器連接到粗抽管線上的端口，并關(guān)閉球閥。
確保擴散泵和低真空泵的水已打開。
啟動保持泵和低真空泵。
在打開擴散泵之前，手動打開前級管線檢查是否有泄漏。確保在測試后關(guān)閉前級管線閥。
慢慢打開球閥，讓氦氣泄漏檢測器進入系統(tǒng)。
通過向前級管線和粗加工系統(tǒng)上的所有焊縫、螺紋配件和法蘭區(qū)域少量噴灑氦氣來檢查泄漏。
修復(fù)初步測試造成的任何泄漏。
如果發(fā)現(xiàn)并修復(fù)了任何泄漏，請重復(fù)步驟E至H并再次檢查泄漏。
如果沒有發(fā)現(xiàn)更多泄漏，則關(guān)閉泄漏檢測器球閥，并打開擴散泵，讓其加熱 45 分鐘。
啟動工藝循環(huán)并讓爐泵降至最佳水平。
如果爐子無法達到高真空，請稍微打開泄漏檢測器的球閥，并檢查所有法蘭、螺紋接頭、爐膛上的焊縫、鼓風(fēng)機罐、頂部管道和真空開關(guān)銅管是否泄漏。修復(fù)在此過程中發(fā)現(xiàn)的任何泄漏。
現(xiàn)在通過以高流量噴射氦氣來檢查整個系統(tǒng)。
如果沒有發(fā)現(xiàn)更多泄漏，請關(guān)閉泄漏檢測器的球閥并將其從系統(tǒng)中移除。
現(xiàn)在應(yīng)該對爐子進行全面檢查并準(zhǔn)備恢復(fù)生產(chǎn)。
如果未發(fā)現(xiàn)外部氦氣泄漏，而泄漏率測試顯示爐子仍然具有較高的泄漏率，則還有其他幾種可能性：氣體通過氣體回填閥或分壓閥泄漏到爐子中，例如氮氣或氬氣。拆開這些閥門，檢查是否有污垢或有缺陷的密封件或隔膜。
氣體冷卻熱交換器可能存在水至真空泄漏。將熱交換器從爐中取出，檢查焊接接頭處是否有水垢。用大約 100 PSIG 的氣壓對熱交換器加壓，并用肥皂泡清洗所有焊接接頭。如有必要，將熱交換器浸入水箱中，檢查是否有氣泡。浸入水中的熱交換器在重新安裝到爐系統(tǒng)中之前必須經(jīng)過烤箱烘烤。在 300 o F 的溫度下烘烤四 (4) 小時，以煮沸任何殘留的水。
當(dāng)所有其他方法都失敗時，請考慮水可能從腔體水套泄漏到真空內(nèi)部。它也可能來自其他水套到真空外殼，例如氣體鼓風(fēng)機或熱交換器外殼。拆除熱區(qū)的所有組件，檢查可能因漏水而產(chǎn)生的水沉積物。如果沒有觀察到明顯的沉積物，則將空氣加壓到大約 30 PSIG 的壓力，并用肥皂泡清洗所有焊縫和接頭。有時泄漏可能以裂紋甚至腐蝕的形式出現(xiàn)在腔體罐的中心。所有腔體泄漏都必須進行焊接修復(fù)和測試，并且不能出現(xiàn)氣泡。
從熱交換器或真空室或其他夾套漏入真空的水通常會使粗抽泵油因嚴(yán)重泄漏而變成乳白色，或因較小泄漏而略微變色。在嚴(yán)重漏水的情況下，真空室將無法抽至 1 Torr 以下。如果自由水在真空室或熱交換器外殼的底部積聚，隨著時間的推移，自由水將凍結(jié)并形成冰。有時，這會在真空室或熱交換器罐的空氣側(cè)出現(xiàn)霜凍。
請記住，使用氦氣泄漏檢測器時，泄漏檢測器響應(yīng)所需的時間表明泄漏的大致區(qū)域，必須進行進一步評估才能找到確切位置。同一區(qū)域內(nèi)經(jīng)?？赡艽嬖诙鄠€泄漏。如果氦氣泄漏檢測儀未發(fā)現(xiàn)泄漏，這并不意味著沒有泄漏。請記住，最后一項測試是上升率測試。
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