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如何在真空爐中運行清理循環(huán)？
2024-08-19
在當(dāng)今競爭激烈的商業(yè)環(huán)境中，確保您的設(shè)備高效運行并盡可能延長使用壽命非常重要。延長真空爐壽命的一種有效方法是保持熱區(qū)清潔，不受工藝污染物的影響。以下是在石墨或金屬熱區(qū)上執(zhí)行清理周期的一般指南：
1. 升溫階段：以每分鐘≤ 20 °F (≤ 11 °C) 的速度緩慢加熱(升溫)爐至清理溫度，該溫度通常比正常工藝周期內(nèi)達到的最高工作溫度高 100 °F (56 °C)，但不應(yīng)超過允許的最高爐溫。
注意：如果最高工藝循環(huán)溫度 < 1.900 °F (1.038 °C)，則清理溫度仍應(yīng)≥ 2.000 °F (1.093 °C)。
2.分壓：在程序的升溫階段，應(yīng)使用氮氣或氬氣分壓來最大化熱傳遞，以及防止工藝污染物進入擴散泵。當(dāng)氣體壓力設(shè)置為(或接近)最大允許分壓時，可實現(xiàn)最大效益，通常為 1.000 至 2.000 微米。
3. 保溫階段：一旦爐子達到設(shè)定點(清理溫度)，保持溫度和分壓 60 分鐘。然后，從過程中移除分壓事件，讓爐子抽真空至最低可能的真空水平。一旦真空穩(wěn)定在最低水平(通常在五到十分鐘內(nèi)達到)，讓爐子在這種硬真空條件下保溫，保持溫度，再保溫 60 分鐘。
4. 斷電階段：關(guān)閉加熱裝置并讓爐子真空冷卻(即不使用回填氣體或風(fēng)扇)至 < 1.500 °F (816 °C)。
注意：如果需要精確計算泄漏率，則應(yīng)在完成上述步驟并將爐子真空冷卻至 ≤ 80 °F (27 °C) – 或盡可能接近環(huán)境溫度之后開始，持續(xù)≥四小時的時間段內(nèi)進行計算。
5. 冷卻階段：如果不進行泄漏測試，一旦爐溫達到< 1.500 °F (816 °C)，可以用風(fēng)扇冷卻至室溫。
6. 最終檢查：打開門。目視檢查加熱元件和所有熱區(qū)組件的清潔度和機械完整性。執(zhí)行元件接地檢查以確認(rèn)電阻正確(通常為 87 Ω 至 110 Ω)。
其他注意事項：
熱區(qū)污染會因材料、熱處理工藝和生產(chǎn)量而異。這意味著沒有一刀切的清理周期。上述過程可能需要根據(jù)您的特定要求進行調(diào)整。升溫速率、氣壓和浸泡時間都可以在允許的范圍內(nèi)進行調(diào)整，以實現(xiàn)最佳效果。務(wù)必始終參考您的爐子設(shè)備手冊以了解確切規(guī)格。
如果您有一個較舊的熔爐或已停產(chǎn)一段時間的熔爐，請考慮以下事項：
真空爐必須達到更高的溫度并浸泡足夠長的時間才能達到穩(wěn)定的熱損失狀態(tài)。在進行清理循環(huán)之前，請確保您的爐子能夠承受這種情況。
對于大多數(shù)真空熔爐來說，平均清理溫度不應(yīng)超過 2.200 °F (1.204 °C)。
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