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真空燒結(jié)爐使用方法及操作須知
2024-09-02
真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件、功率整流器的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)、常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備，設(shè)計(jì)新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，可在一臺設(shè)備上完成多種工藝流程，也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。
真空燒結(jié)爐使用方法及操作須知：
1、因模具一般由用戶自備，模具材料基本采用高純石墨，壓力極限為40MPa，建議用戶安全使用30MPa以下模具，加壓前應(yīng)計(jì)算上、下沖頭面積，然后換算成壓力，具體公式為：允許壓力(噸)=上或下沖頭面積*30MPa
2、熱電偶為鎢錸型，使用后會變脆，無法接觸，如有損壞應(yīng)及時(shí)更換，型號為W2.
3、冬季要注意循環(huán)水的保暖問題，否則容易造成水管爆裂。
4、使用完畢后爐體應(yīng)保持真空，因?yàn)闋t內(nèi)保溫層容易受潮，所以下次抽真空要快一些。
5、由于本設(shè)備較為復(fù)雜，建議由專人使用，專人負(fù)責(zé)，新手使用前應(yīng)經(jīng)過嚴(yán)格培訓(xùn)，使用后應(yīng)進(jìn)行檢查，使用時(shí)應(yīng)做好記錄。
改善真空爐操作的 4 個(gè)技巧
1. 擦拭主門 O 形環(huán)和法蘭時(shí)(每次必須在關(guān)門前進(jìn)行，尤其是在卸下爐子后)，只用裸露的手指擦拭。您可能會被刺傷或弄臟手指(那又怎么樣，您是熱處理工)，但是，裸露的指尖可以檢測到 O 形環(huán)或法蘭上哪怕是微小的劃痕、缺口或碎屑。用抹布擦拭會增加您無法檢測到這些情況的可能性，直到為時(shí)已晚。使用裸露的手指也可以有效地檢測出已經(jīng)變干并需要重新涂抹油脂的 O 形環(huán)。
2. 安裝新的控制或過熱熱電偶后，尤其是使用 Buna N 型帶孔環(huán)饋通時(shí)，請將饋通螺母擰緊，然后在初始抽空后重新擰緊，并在幾個(gè)爐循環(huán)后再次檢查。大多數(shù)情況下，孔環(huán)會被壓縮并拉入組件深處，導(dǎo)致螺母松動。如果發(fā)生這種情況，TC 可能會在循環(huán)過程中被吸入爐內(nèi)深處，可能在卸載工作負(fù)荷時(shí)斷裂。此外，即使控制熱電偶的輕微移動也會影響 TUS 結(jié)果并導(dǎo)致產(chǎn)品影響問題。
3. 如果使用帶有螺栓主法蘭的舊真空爐，請務(wù)必確保在達(dá)到約 -25″HG 的真空度后用螺栓固定法蘭。如果在充分抽真空之前用螺栓固定門，則在工藝的抽氣部分，O 形環(huán)壓縮時(shí)螺栓會松動。螺栓松動可能導(dǎo)致正壓淬火期間氣體泄漏或操作期間真空泄漏。
4. 在真空爐中初始抽真空時(shí)，在引入分壓或打開加熱裝置之前，讓爐子抽真空，直到其達(dá)到緩慢下降的速率。水蒸氣很難釋放，而且可能需要一些時(shí)間，尤其是在潮濕的環(huán)境中。在啟動爐循環(huán)之前盡可能多地排出水蒸氣是防止變色的良好做法。
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